Hmotnostná spektrometria s indukčne viazanou plazmou (ICP-MS) je typ hmotnostnej spektrometrie, ktorá je veľmi citlivá. Dokáže rozpoznať celý rad kovov a niekoľko nekovov v koncentráciách nižších ako jedna časť z 1012 (časť na bilión). Je založená na prepojení indukčne viazanej plazmy ako metódy produkcie iónov (ionizácie) s hmotnostným spektrometrom ako metódou separácie a detekcie iónov. Mnohí chemici používajú na výrobu plazmy argón ako nosný plyn. Zariadenie posiela ióny vzorky cez sériu malých kužeľov. Kužele umožňujú iónom plazmy pomaly vstupovať do vákuovej komory hmotnostného spektrometra.
Pri stopovej prvkovej analýze má táto metóda v porovnaní s technikami atómovej absorpcie výhodu vysokej rýchlosti, presnosti a citlivosti. Analýza nižších koncentrácií v rovnakom čase je náchylnejšia na narušenie stopovými kontaminantmi v použitom laboratórnom riade a činidlách. Niektoré analyty nemôžu pracovať s ICP-MS. Overenie výsledkov analýzy si vyžaduje ďalšiu prácu.
Rozmanitosť aplikácií presahuje možnosti ICP-OES a zahŕňa aj izotopovú špeciáciu. Keďže ICP-MS môže pomôcť pri výrobe atómových bômb, hardvér ICP-MS podlieha osobitným vývozným predpisom.